• 動態應力平衡補償: 利用高性能複合材料的微孔壓縮特性,能有效吸收設備運轉時的微小震動,並自動修正機械軸心公差,
確保加工壓力的極致均勻分佈。
• 物理性真空吸附感: 特殊開發的表面精密結構,能在不使用化學膠劑的前提下產生物理吸附效能。能穩固抓取精密基板,確
保高速位移不滑動,且不傷表面鍍膜、無化學殘留。
• 極低總厚度變異 (Low TTV): 具備微米級的厚度穩定性,為精密研磨或貼合製程提供精確的平行支撐基準,有效優化邊緣平
坦度控制。
• 長效形變回復表現: 針對循環製程開發,具備極佳的記憶彈性與抗疲勞性。在長時間高壓作業下,材料厚度與回彈係數仍能
保持穩定,延長更換週期。
• 高純淨與耐化學性: 材料結構穩定,具有極低發塵量,並針對各類酸鹼漿料及清洗溶劑進行強化,適配高等級潔淨室製程環
境