吸附墊 / Backing Pad

拋光專用吸附墊


產品概述

 

本系列吸附墊是專為高精密平面拋光製程開發的。採用特殊的多層複合結構與專業感壓膠 (PSA) 設計,不僅能提供卓越的支撐力,更能在拋光過程中產生如「真空狀態」般的吸附效能。本產品專為中高壓拋光環境量身打造,能穩固吸附被拋光物體,為各類玻璃基板與光學元件提供優異的平面加工基礎。

產品特點

 

•    高壓縮率與回彈率: 獨特的複合材料結構,確保產品在受到拋光壓力時具備高壓縮性與極佳的回彈表現,有效吸收震動並維
                                       持加工面的平整。
•    真空感物理吸附: 產品具備特殊的微細孔隙結構,當吸附被拋光對象時,能產生類似真空狀態的吸附力,確保工件在高速旋
                                   轉或高壓下不位移。
•    優異的平面穩定性: 專為中高壓製程設計,能承受持續的機械應力而不變形,為拋光製程提供精確且穩定的平面基準。
•    感壓膠技術: 採用高性能感壓膠設計,確保吸附墊與機台載盤之間緊密貼合,且在更換時具有良好的剝離性,不殘留膠水。
•    耐化學與長壽命: 具備優異的耐磨耗與抗化學侵蝕能力,能長時間在各種拋光漿料 (Slurry) 環境下維持穩定的吸附性能。

產品規格

 

項目技術參數
主要材質高彈性複合聚合物 / 多孔性材料
吸附原理微孔物理真空吸附
厚度規格0.5mm ~ 1.6mm 
硬度60~80A
背膠類型感壓膠
適用尺寸支援圓形、長方形及各式客製化異形尺寸

應用領域

 

本產品廣泛應用於下列玻璃相關產業之拋光用途:
•    顯示器產業: TFT-LCD / STN 玻璃基板拋光。
•    光學玻璃: 各類精密透鏡、濾光片及光學元件加工。
•    電子元件: 石英光罩 (Mask)、素玻璃 (Bare Glass) 研磨。
•    面板產業: 觸控面板玻璃、顯示器蓋板玻璃之平坦化。

客製化服務

 

•    複合結構訂製: 根據客戶的研磨壓力需求(中壓或高壓),調整複合層的硬度與壓縮比。
•    精準形狀裁切: 提供圓形、方形或針對特殊設備載盤設計的異形裁切服務。

搭配產品

 

•    尼龍過濾濾袋: 確保拋光循環系統無大顆粒,防止刮傷玻璃工件。
•    聚胺脂 (PU) 或絨毛拋光墊: 針對玻璃材質搭配最適化的拋光介質。